智慧自動化的領航者

高精密半導體蝕刻零組件專家。我們專注於半導體蝕刻製程所需的高精密零組件，提供多材料與客製化解決方案，提升製程穩定度與良率。

We specialize in high-precision components for semiconductor etching processes, offering multi-material and customized solutions to enhance process stability and yield.

材料應用 Materials

核心部件	Shower Head, Focus Ring, GND Ring
進階組件	Shower Head, Focus Ring, GND Ring, Pin
腔體周邊	Window, Injector, Edge Ring, Insulator Ring, Cover Ring, Tube
精密零件	Window, Injector, Edge Ring, Insulator Ring, Pin
配套組件	Socket, Thermal Gasket, RF Gasket, Gel

W / Mo & Graphite Components — 專業提供擴散製程所需之鎢、鉬、石墨精密元件，適用於高溫、高真空環境，確保製程穩定與長效使用。

Chambers（腔體）	Graphite, Tungsten, Molybdenum and Alloys
Filaments（燈絲）	Tungsten and Tungsten Alloys
Arc Slits（弧形狹縫）	Graphite, Tungsten, Molybdenum and Alloys
Cathodes（陰極）	Tungsten, Molybdenum and Alloys
End Station（終端站）	Graphite
Analyzer Components（分析儀元件）	Graphite

CMP 製程耗材與關鍵零組件，涵蓋拋光、清洗、傳輸全系列解決方案，提升平坦化精度與良率。

適用於棧板搬運，承載能力強，適合倉儲與製造業物流場域。採用激光導航技術，定位精準，可靈活規劃路徑。

導航方式	激光導航 / 磁條導航
承載能力	500 kg – 2,000 kg
行駛速度	最高 1.5 m/s
定位精度	±10 mm
通訊方式	WiFi 802.11 a/b/g/n
安全裝置	雷射掃描器 + 緊急停止

全向移動設計，可原地旋轉360度，靈活應對複雜路徑與狹窄場域。

導航方式	激光導航
移動方向	全向 360°
承載能力	200 kg – 600 kg
行駛速度	最高 1.2 m/s
定位精度	±10 mm
安全裝置	雷射掃描器 + 緊急停止

雙向行駛設計，提升通道利用率，降低場地改造成本。

導航方式	激光導航 / 磁條導航
移動方向	雙向
承載能力	200 kg – 500 kg
行駛速度	最高 1.5 m/s
定位精度	±10 mm
安全裝置	雷射掃描器 + 緊急停止

適合拖曳台車進行大批量物料搬運，結構穩固，牽引力強。

導航方式	磁條導航
牽引能力	最高 2,000 kg
行駛速度	最高 1.0 m/s
定位精度	±10 mm
電池類型	鋰電池
安全裝置	碰撞感應 + 緊急停止

潛入貨架底部搬運，全向移動，節省空間，大幅提升倉儲效率。

導航方式	激光導航 / QR Code
移動方向	全向 360°
承載能力	100 kg – 300 kg
行駛速度	最高 1.5 m/s
車體高度	100 mm 以下
安全裝置	雷射掃描器 + 緊急停止

雙向路徑規劃，靈活部署於各類型倉庫，導入成本低。

導航方式	磁條導航 / QR Code
移動方向	雙向
承載能力	100 kg – 300 kg
行駛速度	最高 1.5 m/s
車體高度	100 mm 以下
安全裝置	碰撞感應 + 緊急停止

結構簡單可靠，適合固定路線的標準倉儲場域，導入門檻低。

導航方式	磁條導航
移動方向	單向
承載能力	100 kg – 200 kg
行駛速度	最高 1.2 m/s
車體高度	100 mm 以下
安全裝置	碰撞感應 + 緊急停止

激光導航堆高機，適合高層貨架存取，定位精準，安全性高，可全自動執行入庫出庫任務。

導航方式	激光導航
提升高度	最高 6,000 mm
承載能力	最高 1,000 kg
行駛速度	最高 1.2 m/s
定位精度	±10 mm
安全裝置	雷射掃描器 + 高度感應 + 緊急停止